La microsonde électronique (EPMA) est un instrument à microfaisceau utilisé principalement pour l'analyse chimique non destructive in situ des échantillons solides. Elle est fondamentalement identique à la microscopie électronique à balayage (MEB), avec en plus la possibilité d'effectuer des analyses chimiques. L'importance première d'un EPMA est la capacité d'acquérir des analyses élémentaires précises et quantitatives à des tailles "ponctuelles" très réduites (1 à 2 microns). L'échelle spatiale de l'analyse permet d'analyser des matériaux géologiques in situ et de résoudre des variations chimiques complexes à l'intérieur de grains individuels.